一种低温等离子体气体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种低温等离子体气体处理装置，第一石英管的两端都设有密封固定塞，两端都有一根金属棒穿过密封固定塞进入到第一石英管内，地电极包括多个铜网，每个铜网缠绕在第一石英管的外部，相邻铜网之间有间隔，第一石英管上设有多个弧形支管，每个支管的两端和第一石英管连通，气体能够从第一石英管进入支管，从支管另一端进入第一石英管，支管的一端相对靠近进气方向，另一端弧形向内。发明专利技术利能减缓放电区域内的气体流速，延长原料气与活性粒子、反应中间体与活性粒子的反应时间，在可拆卸石英管中加入吸附材料，实现产物和反应物可分离，抑制气体产物分解的逆反应，使化学平衡向正反应方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子气体领域，涉及一种低温等离子体气体处理装置。

技术介绍

1、低温等离子体技术作为一种新型高效的分子活化手段，可在相对温和的条件下将气体活化。该技术能够在大气压条件下产生大量的高能电子，随后，这些高能电子将与气体分子碰撞，引起激发、电离和解离，产生大量的离子、自由基、活性原子和分子以及紫外光子等粒子，自由基、活性原子和分子以及紫外光子等粒子，体系中的电子温度高达104-105 k，比背景气体的温度高2-3个数量级。被激发的物种、离子或自由基将迅速进一步反应，产生新的分子。

2、但是在等离子体条件下产量不高，转化率低，如专利cn113828252a所述的用于低温等离子体协同催化制氨的新型高效反应装置，采用螺旋电极会使电场产生畸变，使放电变得不均匀，反应不够稳定。

3、如专利cn116173857a所述的一种带孔的多电极同轴式介质阻挡放电反应器，多孔电极的使用寿命较短，需要经常更换，成本较高。

4、如专利cn116121779a所述的一种等离子体辅助电催化合成氨装置及其合成方法，电催化反应需要外加电能，能源本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种低温等离子体气体处理装置，包括第一石英管（401），其特征在于：所述第一石英管（401）的两端都设有密封固定塞，两端都有一根金属棒穿过所述密封固定塞进入到第一石英管（401）内，其中一根所述金属棒连接第一高压电极（101），另一根金属棒连接第二高压电极（102），地电极包括多个铜网，每个铜网缠绕在第一石英管（401）的外部，相邻铜网之间有间隔，所述第一石英管（401）上设有多个弧形支管，每个所述支管的两端和第一石英管（401）连通，气体能够从第一石英管（401）进入支管，从支管另一端进入第一石英管（401），所述支管的一端相对靠近进气方向，另一端弧形向内。p>

2.如权利...

【技术特征摘要】

1.一种低温等离子体气体处理装置，包括第一石英管（401），其特征在于：所述第一石英管（401）的两端都设有密封固定塞，两端都有一根金属棒穿过所述密封固定塞进入到第一石英管（401）内，其中一根所述金属棒连接第一高压电极（101），另一根金属棒连接第二高压电极（102），地电极包括多个铜网，每个铜网缠绕在第一石英管（401）的外部，相邻铜网之间有间隔，所述第一石英管（401）上设有多个弧形支管，每个所述支管的两端和第一石英管（401）连通，气体能够从第一石英管（401）进入支管，从支管另一端进入第一石英管（401），所述支管的一端相对靠近进气方向，另一端弧形向内。

2.如权利要求1所述的低温等离子体气体处理装置，其特征在于：所述第一石英管（401）有两个，分别为平直石英管和斜石英管，所述平直石英管和斜石英管之间成钝角，一个支管一端和平直石英管和斜石英管连接，另一端和斜石英管连接。

3.如权利要求1或2所述的低温等离子体气体处理装置，其特征在于：所述支管的材质为石英。

4.如权利要求1或2所述的低温等离子体气体处理装置，其特征在于：所述密封固定塞有三个，从上到下依次为用于固定第一石英管（401）的第一密封固定塞（201）、第二密封固定塞（202）和用于固定对应大的高压电极的第三密封固定塞（...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅丹华，蔡艺文，金权力，刘诗筠，方志，
申请(专利权)人：南京工业大学，
类型：发明
国别省市：