下载一种半导体产品的清洗装置的技术资料

文档序号:42153234

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种半导体产品的清洗装置,其包括安装主体和多个喷头。多个所述喷头至少在第一方向上错开设于所述安装主体之上,多个所述喷头中至少部分喷头在所述第一方向上可移动设置和/或多个所述喷头中至少部分喷头设置为独立喷洒清洗液,使得多个所述喷头在...
该专利属于杰群电子科技(东莞)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰群电子科技(东莞)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。