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本发明属于芯片刻蚀管理技术领域，具体是一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统，其中，该系统包括处理器、刻蚀监控模块、在线处理识别模块、反馈控制模块、控制监管模块和显示预警模块；本发明通过刻蚀监控模块对芯片的刻蚀过程进行实时监控拍摄，在线处理识...
该专利属于江苏永鼎股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏永鼎股份有限公司授权不得商用。

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