【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片刻蚀管理，具体是一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统。
技术介绍
1、在芯片制造过程中，刻蚀工艺是一个关键的步骤，其精度和效率直接影响到芯片的质量和性能，现有的刻蚀工艺主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀两种，无论哪种方式都需要对刻蚀过程进行监控；
2、然而传统的刻蚀过程监控无法实时反馈刻蚀状况并进行智能控制，影响了刻蚀工艺的精度和稳定性，且无法对监控摄像异常状况进行逐步评估，以及难以合理判断相应芯片刻蚀工艺产线的管控风险性并精准评估相应产线的巡检执行表现状况，智能化程度低；
3、针对上述的技术缺陷，现提出一种解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统，解决了现有技术无法实时反馈刻蚀状况并进行智能控制，不能对监控摄像异常状况进行逐步评估，且难以合理判断相应芯片刻蚀工艺产线的管控风险性并精准评估相应产线的巡检执行表现状况，智能化程度低的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
<...【技术保护点】
1.一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，包括处理器、刻蚀监控模块、在线处理识别模块、反馈控制模块、控制监管模块和显示预警模块；刻蚀监控模块采用高分辨率的摄像机对芯片的刻蚀过程进行实时监控拍摄，将刻蚀过程的图像转化为数字信号并经处理器传输到在线处理识别模块；
2.根据权利要求1所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，控制监管模块的具体运行过程包括：
3.根据权利要求1所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，处理器与监控评估模块通信连接，监控评估模块用于对刻蚀监控模块的运行环境和运行状况进行分析，通过分析生成监控评估异常...
【技术特征摘要】
1.一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，包括处理器、刻蚀监控模块、在线处理识别模块、反馈控制模块、控制监管模块和显示预警模块；刻蚀监控模块采用高分辨率的摄像机对芯片的刻蚀过程进行实时监控拍摄，将刻蚀过程的图像转化为数字信号并经处理器传输到在线处理识别模块；
2.根据权利要求1所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，控制监管模块的具体运行过程包括：
3.根据权利要求1所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，处理器与监控评估模块通信连接，监控评估模块用于对刻蚀监控模块的运行环境和运行状况进行分析，通过分析生成监控评估异常信号或监控评估正常信号，且将监控评估异常信号或监控评估正常信号经处理器发送至显示预警模块，显示预警模块接收到监控评估异常信号时发出相应预警。
4.根据权利要求3所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，监控评估模块的具体运行过程包括：
5.根据权利要求4所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，若运行环评值未超过预设运行环评阈值，则采集到刻蚀监控模块中摄像机的内部若干个位置的实时温度，若实时温度超过对应预设温度阈值，则将相应位置标记为温劣位置，若摄像机中存在温劣位置，则生成监控评估异常信号；
6.根据权利要求5所述的一种芯片的刻蚀工艺在线识别系统，其特征在于，若摄像机检测值未超过预设摄像机检测阈值，则采集到摄像机的监控画面的延迟数据和模糊度数据，通过将延迟...
【专利技术属性】
技术研发人员：莫思铭，周莉，焦国玺，唐杰，
申请(专利权)人：江苏永鼎股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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