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本发明公开了一种基于硅基底的二维材料薄膜悬浮苯并环丁烯（BCB）质量块的加速度传感器，其传感机理基于二维材料的压阻效应与谐振效应。二维材料薄膜悬浮BCB质量块的压阻式加速度传感器结构包括二维材料薄膜（作为加速度敏感薄膜）、BCB质量块、沉积...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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