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本发明属于半导体技术领域，公开了半导体工艺设备的气体混合装置，包括控制箱：控制箱用于对进入的载气流量进行控制；连接管道，连接管道固定安装于控制箱一端且用于对工艺气体进行导流；混合机构，混合机构固定安装于连接管道一端用于对载气和工艺气体进行混...
该专利属于艾生科（江苏）化工科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾生科（江苏）化工科技有限公司授权不得商用。

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