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本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；...
该专利属于化学与精细化工广东省实验室潮州分中心所有，仅供学习研究参考，未经过化学与精细化工广东省实验室潮州分中心授权不得商用。

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