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本发明涉及一种圆柱体表面纹理及三维形貌测量方法和装置，方法包括设置光学显微成像模组正对样品高度h<subgt;0</subgt;处，并且物平面到电动转台转轴中心距离为起始位置r<subgt;0</subgt;处，通过...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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