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本发明公开了一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法，涉及晶圆领域，解决了当前在对晶圆检测内容存在局限性，且存在检测不准确的问题，方法包括：检测终端导入待测晶圆的标准规格数据，标准规格数据经服务器发送至规格检测模块；规格检测模块对待测晶圆...
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