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本发明公开了一种透射式滤波器及其制备方法、EUV光刻机。透射式滤波器包括一个或多个滤波器单元，每个滤波器单元包括：衬基框架，包围中心开口；支撑层，支撑在所述衬基框架上；滤波层，设置在所述支撑层上，其中，所述滤波层包括形成在所述中心开口的区域...
该专利属于四川禾丰光芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川禾丰光芯科技有限公司授权不得商用。

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