温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种静电放电防护器件及其形成方法,其中方法包括:提供衬底;在衬底内形成相接触的第一阱区和第二阱区,第一阱区和第二阱区的导电类型不同;在第一阱区内形成相互分立的第一掺杂区和第二掺杂区,第一掺杂区和第二掺杂区的导电类型不同;在第二阱区内形成相互...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种静电放电防护器件及其形成方法,其中方法包括:提供衬底;在衬底内形成相接触的第一阱区和第二阱区,第一阱区和第二阱区的导电类型不同;在第一阱区内形成相互分立的第一掺杂区和第二掺杂区,第一掺杂区和第二掺杂区的导电类型不同;在第二阱区内形成相互...