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本发明公开了一种光刻版结构及其加工方法，属于光刻版技术领域。包括两组光刻版体，两组所述光刻版体贴合于晶圆片两面，还包括盖板，所述光刻版体中心处开设有排气孔，所述光刻版体一面设置有浅槽气道，所述浅槽气道由多条相互交叉的浅槽构成；所述排气孔与浅...
该专利属于济南新芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南新芯微电子有限公司授权不得商用。

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