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本技术是一种镀膜设备用集成真空系统，其结构包括一个以上工艺腔、与工艺腔数量相等的真空挡板阀和粉尘过滤器，以及一个真空过渡罐，每个真空泵分别通过管道串联一个真空挡板阀和一个粉尘过滤器，所有粉尘过滤器分别通过管道连通同一真空过渡罐，每个工艺腔分...
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