一种镀膜设备用集成真空系统技术方案

本技术是一种镀膜设备用集成真空系统，其结构包括一个以上工艺腔、与工艺腔数量相等的真空挡板阀和粉尘过滤器，以及一个真空过渡罐，每个真空泵分别通过管道串联一个真空挡板阀和一个粉尘过滤器，所有粉尘过滤器分别通过管道连通同一真空过渡罐，每个工艺腔分别通过管道连接同一所述的真空过渡罐。工作时所有真空泵同时工作，将真空过渡罐抽成真空，其中一个真空泵发生故障，倒吸的气体和粉尘会通过真空过渡罐被其它真空泵抽走，不会吸到工艺腔内对晶圆产生污染。其中一个真空泵需要维修或维护时，关闭其对应的真空挡板阀然后把该真空泵拆除即可，其它真空泵可正常维持系统运行，无需停机。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是一种镀膜设备用集成真空系统，属于真空镀膜设备。

技术介绍

1、现有技术中，原子层沉积镀膜设备一般每个工艺腔配置单独的真空泵（图1），即采用独立的真空系统。

2、在设备运行中，由于粉尘沉积到真空泵内或真空泵发热等其它故障，会导致真空泵的转子瞬间卡住，进而停止运行，此时真空泵上真空挡板阀在自动化程序控制下会立即自动关闭，但由于电器元件的信号响应和机械结构的运动时间限制，真空挡板阀完全关闭有大约0.5秒的延时。工艺腔内是极限真空，和外部空间有1个大气压的压差，在这延时的0.5秒内，外部的空气会瞬间倒吸入到工艺腔内，同时把管道和过滤器内的粉尘带到工艺腔，导致工艺腔内正在工艺的晶圆产生粉尘污染，影响生产正常进行。

技术实现思路

1、本技术提出的是一种镀膜设备用集成真空系统，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，在真空泵发生故障时保证生产正常进行。

2、本技术的技术解决方案：一种镀膜设备用集成真空系统，其结构包括多个真空泵、多个真空挡板阀、多个粉尘过滤器、一个真空过渡罐和多个工艺腔。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜设备用集成真空系统，其特征在于，包括一个以上工艺腔（6）、与工艺腔（6）数量相等的A真空挡板阀（2）和粉尘过滤器（3），以及一个真空过渡罐（4），每个真空泵（1）分别通过管道串联一个A真空挡板阀（2）和一个粉尘过滤器（3），所有粉尘过滤器（3）分别通过管道连通同一真空过渡罐（4），每个工艺腔（6）分别通过管道连接同一所述的真空过渡罐（4）。

2.如权利要求1所述的一种镀膜设备用集成真空系统，其特征在于，还包括与工艺腔（6）数量相等的B真空挡板阀（5），每个B真空挡板阀（5）对应设置在每个工艺腔（6）与真空过渡罐（4）之间的管道上。

【技术特征摘要】

1.一种镀膜设备用集成真空系统，其特征在于，包括一个以上工艺腔（6）、与工艺腔（6）数量相等的a真空挡板阀（2）和粉尘过滤器（3），以及一个真空过渡罐（4），每个真空泵（1）分别通过管道串联一个a真空挡板阀（2）和一个粉尘过滤器（3），所有粉尘过滤器（3）分别通过管道连通同一真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣荣卫，钱刚祥，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：