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本发明提供一种等离子体废气处理装置及半导体尾气的无水电离处理方法，所述等离子体废气处理装置通过设置第一空冷部、第二空冷部，并与第一循环介质冷却部和第二循环介质冷却部、电子冷却部相组合，实现了等离子体处理废气后超高温向低温的转化，并且能够实现...
该专利属于浙江思辰半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江思辰半导体设备有限公司授权不得商用。

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