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提供在基板的处理工序中可减少基板的剩余待机时间的技术。具有：可进行包含加热基板的处理的基板处理的处理室；支承基板的晶舟；具有多个支承所述晶舟的晶舟支承部，可使该晶舟支承部公转的公转部；在具有所述公转部上方的区域内配置于所述处理室的下方的第一...
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