温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种方法，该方法包括：将含氧和碘的蚀刻化合物的蒸气引入容纳有衬底的腔室中，该衬底具有沉积在其上的含硅膜和沉积在该含硅层上的图案化掩模层，其中该含氧和碘的蚀刻化合物具有式C<subgt;n</subgt;H<subgt;x&...
该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。