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本发明属于光学透镜阵列制备技术领域,具体涉及一种微纳光学晶圆级透镜阵列的制备方法。本发明通过电解沉积原理,将待加工晶圆级光学透镜阵列模具作为阴极,待沉积金属作为阳极,在待加工晶圆级光学透镜阵列模具的表面沉积出金属层,将金属层作为晶圆级光学透...该专利属于华天慧创科技(西安)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华天慧创科技(西安)有限公司授权不得商用。
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本发明属于光学透镜阵列制备技术领域,具体涉及一种微纳光学晶圆级透镜阵列的制备方法。本发明通过电解沉积原理,将待加工晶圆级光学透镜阵列模具作为阴极,待沉积金属作为阳极,在待加工晶圆级光学透镜阵列模具的表面沉积出金属层,将金属层作为晶圆级光学透...