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本技术提供了一种MEMS基板的压合治具，其包括设置于镂空送料轨道上方两侧的两个固定板、两侧分别搭载于所述两个固定板上且中部镂空的上压板、设置于送料轨道下方的底部垫块，所述固定板与所述上压板通过磁吸的方式进行固定。采用本技术的MEMS基板的压...
该专利属于广东气派科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东气派科技有限公司授权不得商用。

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