【技术实现步骤摘要】
本技术涉及mems麦克风制造领域，尤其涉及一种mems基板的压合治具。
技术介绍
1、mems的英文全称为micro-electro-mechanicalsystem，中文名称为微机电系统，是指尺寸在几毫米甚至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。mems技术因具有微型化、智能化、高度集成化和可批量生产的优点，已广泛应用于电子、医学、工业、汽车和航空航天系统等领域。
2、如图1所示，目前mems基板采用的压合治具中，中间镂空的上压板使用4格固定螺丝固定在两侧固定板上，使用过程是：通过马达带动底部垫块向下活动到设置位置，此时上压板与底部垫块中产生较大空间，通过皮带传送mems基板到上压板与底部垫块中间位置，传感器感应基板到达指定位置后，底部垫块向上活动到设置位置，此次mems基板被上压板和底部垫块压合，被底部垫块压合固定后进行画锡作业。
3、但实际应用中，因为mems基板厚度较薄，在压合时中部可能被底部垫块定期而导致存在形变的情况，无法满足对应的画锡水平度要求，水平度不一致时会导...
【技术保护点】
1.一种MEMS基板的压合治具，其特征在于，包括设置于镂空送料轨道上方两侧的两个固定板、两侧分别搭载于所述两个固定板上且中部镂空的上压板、设置于送料轨道下方的底部垫块，所述固定板与所述上压板通过磁吸的方式进行固定。
2.如权利要求1所述的MEMS基板的压合治具，其特征在于，所述固定板上设置有多个第一磁铁嵌块，所述上压板两侧上设置有与所述多个第一磁铁嵌块相应的第二磁铁嵌块，所述第一磁铁嵌块和所述第二磁铁嵌块相互吸合，将所述上压板固定于所述固定板上。
3.如权利要求1所述的MEMS基板的压合治具，其特征在于，所述固定板上设置有多个磁铁嵌块，所述上压
【技术特征摘要】
1.一种mems基板的压合治具，其特征在于，包括设置于镂空送料轨道上方两侧的两个固定板、两侧分别搭载于所述两个固定板上且中部镂空的上压板、设置于送料轨道下方的底部垫块，所述固定板与所述上压板通过磁吸的方式进行固定。
2.如权利要求1所述的mems基板的压合治具，其特征在于，所述固定板上设置有多个第一磁铁嵌块，所述上压板两侧上设置有与所述多个第一磁铁嵌块相应的第二磁铁嵌块，所述第一磁铁嵌块和所述第二磁铁嵌块相互吸合，将所述上压板固定于所述固定板上。
3.如权利要求1所述的mems基板的压合治具，其特征在于，所述固定板上设置有多个磁铁嵌块，所述上压板为磁性...
【专利技术属性】
技术研发人员：张怡，李凤珍，潘英明，胡伟，任勇军，王仁怀，孙少林，
申请(专利权)人：广东气派科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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