下载一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置的技术资料

文档序号:42115087

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本申请公开了一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置,其中生长方法包括以下步骤,S1:提供一种籽晶,所述籽晶包括竖直部和设置在所述竖直部下方的倾斜部,所述倾斜部外围形成圆锥面,所述倾斜部的直径向远离所述竖直部的方向逐渐减小;S2:将所述籽晶设置在...
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