下载一种全自动双工位晶圆检测设备的技术资料

文档序号:42108195

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本发明公开了一种全自动双工位晶圆检测设备,包括机架,所述机架的其中一端开设有上料口,所述上料口处设有取料模块,所述取料模块的后侧设有检测台,所述检测台上悬挂有至少一个检测机构,任意一所述检测机构下方均对应设有移位机构,所述移位机构上设有检测...
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