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本技术公开了一种半导体生产供液系统的分流总管，包括分流总管体，所述分流总管体的底部开设有分流口；支流机构，所述支流机构包括与所述分流总管体相匹配的弧形密封连接板，所述弧形密封连接板的底部安装有分流支管体；用于固定所述支流机构的安装机构，所述...
该专利属于无锡西领机电工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡西领机电工程有限公司授权不得商用。

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