一种半导体生产供液系统的分流总管技术方案

本技术公开了一种半导体生产供液系统的分流总管，包括分流总管体，所述分流总管体的底部开设有分流口；支流机构，所述支流机构包括与所述分流总管体相匹配的弧形密封连接板，所述弧形密封连接板的底部安装有分流支管体；用于固定所述支流机构的安装机构，所述安装机构包括固定连接在所述分流总管体底部的安装座，所述安装座上滑动连接有限位组件，所述限位组件的侧面安装有用于卡接所述弧形密封连接板的卡接组件。本技术采用卡接的方式实现分流总管体和分流支管体的对接安装，在分流总管体和分流支管体的对接位置出现堵塞时，方便对分流支管体进行拆装，从而方便对其进行清理维护，也因此提高了本技术的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及分流管，特别涉及一种半导体生产供液系统的分流总管。

技术介绍

1、半导体生产供液系统是用于在半导体制造过程中为各个工序提供液体材料的系统，这些液体材料可以是腐蚀性溶液、化学试剂、纯水等，输送管道是这些液体材料输送的关键部件，在输送过程中，一般通过总管对液体进行输送，然后再分支输送至各个工序，而现有技术中的总管和支管一般为固定式，在支管和总管的对接部位出现堵塞时，不便于对支管进行拆装，因此不方便对其进行清理维护。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种半导体生产供液系统的分流总管，采用卡接的方式实现分流总管体和分流支管体的对接安装，在分流总管体和分流支管体的对接位置出现堵塞时，方便对分流支管体进行拆装，从而方便对其进行清理维护，也因此提高了本技术的实用性。

2、为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：

3、一种半导体生产供液系统的分流总管，包括：

4、分流总管体，所述分流总管体的底部开设有分流口；

5、支流机构，所述支流机构包括与所述分流总管体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于：所述限位组件(302)包括滑动连接在所述安装座(301)上的滑动限位杆(3021)，所述滑动限位杆(3021)的端部固定连接有L型卡杆(3022)，位于所述L型卡杆(3022)以及所述安装座(301)之间的所述滑动限位杆(3021)上套设有套簧(3023)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于：所述卡接组件(303)包括固定连接在所述L型卡杆(3022)侧面的螺纹座(3031)，所述螺纹座(3031)上螺...

【技术特征摘要】

1.一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于：所述限位组件(302)包括滑动连接在所述安装座(301)上的滑动限位杆(3021)，所述滑动限位杆(3021)的端部固定连接有l型卡杆(3022)，位于所述l型卡杆(3022)以及所述安装座(301)之间的所述滑动限位杆(3021)上套设有套簧(3023)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产供液系统的分流总管，其特征在于：所述卡接组件(303)包括固定连接在所述l型卡杆(3022)侧面的螺纹座(3031)，所述螺纹座(3031)上螺纹连接有夹紧螺栓(3032)，所述夹紧螺栓(3032)的顶部通过轴承转动安装有夹紧卡板(3033)。

4.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁稳亮，
申请(专利权)人：无锡西领机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：