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本发明属于半导体领域，公开了一种质量流量控制器，包括依次连接的流体输入端、比例阀、流体计量单元、流体输出端；所述流体计量单元包括并联的第一限流组件和第二限流组件以及切换阀；所述第一限流组件的额定计量范围的上限小于第二限流组件的额定计量范围的...
该专利属于广东先导元创流体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导元创流体技术有限公司授权不得商用。

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