一种质量流量控制器和系统技术方案

本发明专利技术属于半导体领域，公开了一种质量流量控制器，包括依次连接的流体输入端、比例阀、流体计量单元、流体输出端；所述流体计量单元包括并联的第一限流组件和第二限流组件以及切换阀；所述第一限流组件的额定计量范围的上限小于第二限流组件的额定计量范围的上限；所述第一限流组件之前设有第一压力传感器、第二压力传感器，所述第一限流组件之后设有第三压力传感器。该质量流量控制器采用2种不同量程的压力测量组件，通过数据采集和判断模块，根据当前流量范围选择合适的传感器进行测量，以实现不同流量情况下的压力测试，提高压差测试精度。同时，本发明专利技术还提供采用该控制器的控制系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，具体涉及一种用于高精度流量测量与控制的气体质量流量控制器和系统。

技术介绍

1、气体质量流量控制器(mass flow controller，简称mfc)，是一种精确控制气体流量的设备，广泛应用于半导体、石油化工、制药等领域。其中压差式质量流量控制器(压差式mfc)是一种常用的气体流量控制装置，由压差式流量传感器、控制阀、控制反馈电路、进出气管道接头和分流器管道、通讯接口等部件组成。压差式流量传感器是mfc的核心部件，用于实时测量气体流经流过节流元件时产生的压差，计算气体的体积流量；控制阀根据流量传感器的测量与反馈，精确调整开度，以确保通过mfc的气体流量与预设值相匹配，通常为能够实现精细调节的比例阀；控制反馈电路负责处理流量传感器的信号，并据此控制控制阀的开度。

2、在半导体领域中，一般分为热式质量流量计和压差流量计；

3、压差流量计基于压差器件的不同，又可以分为孔板流量计、文丘里流量计、层流流量计等；

4、从特点来说，孔板流量计由于其过大的压损，导致在半导体领域中应用的并不多。

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【技术保护点】

1.一种质量流量控制器，其特征在于，包括依次连接的流体输入端、比例阀、流体计量单元、流体输出端；

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第一压力传感器的最大计量值相当于第二压力传感器的最大计量值的2～20倍。

3.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第一压力传感器的最大计量值相当于第二压力传感器的最大计量值的3～6倍。

4.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，还包括位于比例阀、流体计量单元之间的气体腔室。

5.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第二限流组件的额定计量范围为第一限...

【技术特征摘要】

1.一种质量流量控制器，其特征在于，包括依次连接的流体输入端、比例阀、流体计量单元、流体输出端；

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第一压力传感器的最大计量值相当于第二压力传感器的最大计量值的2～20倍。

3.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第一压力传感器的最大计量值相当于第二压力传感器的最大计量值的3～6倍。

4.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，还包括位于比例阀、流体计量单元之间的气体腔室。

5.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第二限流组件的额定计量范围为第一限流组件的额...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙冉青，余舒婷，
申请(专利权)人：广东先导元创流体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：