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用于版图处理的方法、设备和介质技术
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文档序号:42103350
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根据本公开的示例实施例提供了用于版图处理的方法、设备和介质。在该方法中,获取与参考版图中的至少一个图形段相对应的编码表示。编码表示用于表征至少一个图形段所处的版图环境。通过对参考版图的光刻成像仿真确定分别对至少一个图形段进行修正的至少一个修...
该专利属于全芯智造技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过全芯智造技术有限公司授权不得商用。
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