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本发明提供一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法，属于碳化硅生长及外延技术领域，所述系统包括工控计算机、控制扩展模块、截止阀、真空泵和压力控制器接口；控制扩展模块与工控计算机、截止阀、真空泵均连接；工控计算机还与压力控制器接口连接；截止阀一...
该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。

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