温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于事件相机的芯片缺陷检测系统和方法，涉及光学检测领域，包括事件相机、白光光源、白光光源调节架、光学平台、XY平移台、压电位移台、运动控制处理系统，方法为：在待测芯片表面投射一束方向变化的白光，用事件相机捕捉芯片表面散射的白...
该专利属于奈米科学仪器装备（杭州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奈米科学仪器装备（杭州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。