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本发明提供了一种低缺陷抛光垫的制备方法，所述抛光垫以聚氨酯为主要抛光组分，并添加有处理过的聚合物微球作为助剂。本发明以经过溶剂处理过的聚合物微球作为填料，抛光垫孔具有尺寸均匀，平坦度高的优点，不易在半导体晶圆表面产生划伤；另外溶剂由于浸润到...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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