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具有非共享功函数金属的堆叠FET制造技术
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下载具有非共享功函数金属的堆叠FET的技术资料
文档序号:42089872
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提供了一种半导体结构,其包括堆叠在第二FET器件上的第一FET器件,其中第一FET器件包含含有第一功函数金属的第一功能栅极结构,并且第二FET器件包含含有第二功函数金属的第二功能栅极结构。在该结构中,第一功函数金属不存在于包括第二功函数金属...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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