下载具有非共享功函数金属的堆叠FET的技术资料

文档序号:42089872

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提供了一种半导体结构,其包括堆叠在第二FET器件上的第一FET器件,其中第一FET器件包含含有第一功函数金属的第一功能栅极结构,并且第二FET器件包含含有第二功函数金属的第二功能栅极结构。在该结构中,第一功函数金属不存在于包括第二功函数金属...
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