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一种抗蚀剂下层膜，是作为抗蚀剂下层膜形成用组合物的涂布膜的烧成物的、抗蚀剂下层膜，上述抗蚀剂下层膜形成用组合物含有聚合物，上述聚合物含有：具有多环芳香族烃结构的单元结构(A)、和来源于马来酰亚胺结构的单元结构(B)中的至少任一单元结构，上述...
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