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本发明涉及尾气回收技术领域，且公开了一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体，箱体的底面固定有两个对称设置的支撑腿，箱体外壁的上端固定连接有进气管，箱体内壁的上端固定连接抽气管，抽气管的内壁连接有抽气机构，抽气管的另一端固定连接有分隔管，分隔管...
该专利属于江苏元佳新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏元佳新材料有限公司授权不得商用。

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