【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及尾气回收，具体为一种六氟化钨尾气的回收装置。
技术介绍
1、六氟化钨是一种无色有刺激性的气体，在常温下呈现出刺鼻气味。它在制造半导体过程中作为气相沉积材料使用，主要用于制造微电子器件和薄膜。然而，在六氟化钨的生产和使用过程中，会产生六氟化钨尾气。
2、六氟化钨尾气主要包含六氟化钨和氢氟酸等物质。其中氢氟酸是一种强酸，具有刺激性和腐蚀性，对人体和环境有一定的危害，所以为了减少对环境的影响，需要通过一种尾气回收装置对六氟化钨尾气进行处理，以降低其人体和环境的危害。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供一种六氟化钨尾气的回收装置，当需要对六氟化钨尾气进行回收时，可以通过抽气机构将六氟化钨尾气抽入到箱体内部，并经由烘干机构烘干、经由过滤组件过滤、经由分流组件分流、经由气体监测机构实时监测气体污染度、经由循环机构和冷却机构将干净的六氟化钨尾气再次液化成液体，直至后期从排液管中排出进行二次使用，进而避免了对人体和环境的危害。
2、为实现上述的目的，...
【技术保护点】
1.一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底面固定有两个对称设置的支撑腿(2)，箱体(1)外壁的上端固定连接有进气管(3)，箱体(1)内壁的上端固定连接抽气管(10)，抽气管(10)的内壁连接有抽气机构，抽气管(10)的另一端固定连接有分隔管(11)，分隔管(11)的另一端连接有烘干机构，烘干机构的另一端连接有连接管(13)，连接管(13)的另一端固定连接有过滤箱(14)，过滤箱(14)的内壁连接有过滤组件，过滤箱(14)的外壁连接有分流组件，分流组件的内部连接有气体监测机构，分流组件远离过滤箱(14)的一端连接有冷却箱(18)，冷却...
【技术特征摘要】
1.一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底面固定有两个对称设置的支撑腿(2)，箱体(1)外壁的上端固定连接有进气管(3)，箱体(1)内壁的上端固定连接抽气管(10)，抽气管(10)的内壁连接有抽气机构，抽气管(10)的另一端固定连接有分隔管(11)，分隔管(11)的另一端连接有烘干机构，烘干机构的另一端连接有连接管(13)，连接管(13)的另一端固定连接有过滤箱(14)，过滤箱(14)的内壁连接有过滤组件，过滤箱(14)的外壁连接有分流组件，分流组件的内部连接有气体监测机构，分流组件远离过滤箱(14)的一端连接有冷却箱(18)，冷却箱(18)的内壁连接有循环机构和冷却组件，循环机构和冷却组件连通，冷却箱(18)外壁的底面固定连接有排液管(4)，排液管(4)的内部设置有排液阀门(5)，进气管(3)、抽气管(10)、分隔管(11)、烘干机构、连接管(13)、过滤箱(14)、分流组件、冷却箱(18)和排液管(4)内部连通。
2.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述抽气机构包括十字支架(28)、抽气电机(29)和抽风扇(30)，十字支架(28)的四端均与抽气管(10)的内壁固定连接，抽气电机(29)的外壁与十字支架(28)的一侧固定连接，抽气电机(29)的输出轴与抽风扇(30)的中心轴固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述烘干机构包括加热管(12)和加热丝(21)，加热管(12)的一端与抽气管(10)的一端固定连接并连通，加热管(12)的另一端与连接管(13)的一端固定连接并连通，加热管(12)的内壁开设有加热腔(20)，加热丝(21)的外壁与加热腔(20)的内壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述过滤组件包括密封板(8)和滤网(22)，密封板(8)的一侧与滤网(22)的一侧固定连接，滤网(22)的外壁与过滤箱(14)的内壁连接。
5.根据权利要求4所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述分流组件包括三通管(15)和两个电磁阀(16)，三通管(15)的一端与过滤箱(14)的外壁固定连接并连通，气体监测机构与此端的内部连接，两个电磁阀(16)分别与三通管(15)的另外两端连接，三通管(15)远离过滤箱(14)的其中一端与冷却箱(18)固定连接并连通，三通管(15)远离过滤箱(14)的另一端固定连接并连通有另一个过滤箱(14)，此过滤箱(14)的外壁固定连接并连通有出气管(17)，出气管(17)的另一端与冷却箱(18)固定连接并连通，且另一个过滤箱(14)...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵厚哲，龚巍，杨建华，
申请(专利权)人：江苏元佳新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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