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本技术是关于一种晶圆吸盘及晶圆固定装置，其包括：吸盘本体，所述吸盘本体上设有一个以上的气压槽；所述吸盘本体上设有气道；所述气压槽包括第一气压槽、第二气压槽和第三气压槽；所述气道包括设于吸盘本体上的第一气道和第二气道，所述第一气压槽与第一气道...
该专利属于麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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