下载热压印成型的微纳光学元件形性协同控制方法及系统的技术资料

文档序号:42084448

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本申请提供了热压印成型的微纳光学元件形性协同控制方法及系统,方法包括:获取第一微纳光学元件在热压印成型过程中产生的形状误差数据和折射率变化数据;根据形状误差数据和折射率变化数据,对模具几何模型进行补偿;判断第二微纳光学元件的形状精度是否满足...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。

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