下载一种半导体器件加工用旋转定位装置的技术资料

文档序号:42083622

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本发明公开了一种半导体器件加工用旋转定位装置,涉及半导体器件加工技术领域,包括:底板,底板的上端设置有第一转动机构、第二转动机构,底板的上端设置有转盘,底板与转盘之间设置有杆体、螺栓;第一转动机构包括防护板,第二转动机构包括主动锥齿轮,防护...
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