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本技术提出一种纵型热处理用热处理舟及纵型热处理炉，其在相对于半导体晶圆实施热处理时，与以往相比能够抑制在半导体晶圆处发生滑移位错。前述纵型热处理炉用热处理舟具备多根支柱、与该多根支柱分别连接来支承前述半导体晶圆的背面的一个以上的支承部，前述...
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