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本申请属于MEMS测试技术领域，具体公开一种MEMS惯性传感器测试装置和方法。通过本申请，采用半导体温控片与MEMS惯性传感器直接接触控温，控制半导体温控片的电流方向和大小，改变半导体温控片加热/制冷效率，实现MEMS惯性传感器环境温度的变...
该专利属于中国船舶集团有限公司第七〇九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶集团有限公司第七〇九研究所授权不得商用。

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