一种MEMS惯性传感器测试装置和方法制造方法及图纸

本申请属于MEMS测试技术领域，具体公开一种MEMS惯性传感器测试装置和方法。通过本申请，采用半导体温控片与MEMS惯性传感器直接接触控温，控制半导体温控片的电流方向和大小，改变半导体温控片加热/制冷效率，实现MEMS惯性传感器环境温度的变化，半导体温控片可提高温控效率，减小测试装置体积，由于热量传递线路明显更短，且通过闭环反馈控制，温度反馈及时，加快温度变化速度，温度变化时调节半导体温控片的电流即可维持温度稳定。首先同一温度下进行测试，对MEMS惯性传感器角速度进行补偿；然后通过调整温度条件，对全温度下的MEMS惯性传感器角速度进行补偿，能够在稳定的温度环境下对MEMS惯性传感器进行测试，实现MEMS惯性传感器全温度下角速度的标定。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于mems测试，更具体地，涉及一种mems惯性传感器测试装置和方法。

技术介绍

1、mems惯性传感器是利用mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)微加工技术和半导体集成电路制造技术制作而成的惯性传感器，用于检测被测物体惯性力，进而测量其加速度、角速度及相应运动状态变化的传感器，通常可分为加速度传感器和角速度传感器。其可构成低成本的ins(inertial navigation system，惯性导航)、gps(global positioning system，全球定位系统)组合导航系统，是一类非常适合构建微型捷联惯性导航系统的惯性传感器。

2、mems惯性传感器对温度比较敏感，在不同温度下的测量值会有一定的变化。针对该问题，现有技术将一个大的温箱安装在转台上。一方面，该设备尺寸很大，负载重量大，达到几十公斤～上百公斤，导致转台内选用旋转电机的体积和力矩很大，增加设备的使用成本；另一方面，使用温箱调整环境的温度，一是温箱内部空间大，温度变化慢；二是环境温度与传感器所在位置的温度可能有一定的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS惯性传感器测试装置，其特征在于，包括：转台、信号检测电路、夹具及半导体温控片；

2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述转台内部留有信号通道，所述信号通道用于连接上位机和信号检测电路。

3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述信号检测电路通过字弹簧针与转台进行连接，通过夹具与MEMS惯性传感器引脚进行电气连接。

4.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述夹具与信号检测电路留出的信号接口通过焊接进行固定，通过转接板与转台内部信号传输线进行电气连接。

5.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，半导体温控片...

【技术特征摘要】

1.一种mems惯性传感器测试装置，其特征在于，包括：转台、信号检测电路、夹具及半导体温控片；

2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述转台内部留有信号通道，所述信号通道用于连接上位机和信号检测电路。

3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述信号检测电路通过字弹簧针与转台进行连接，通过夹具与mems惯性传感器引脚进行电气连接。

4.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述夹具与信号检测电路留出的信号接口通过焊接进行固定，通过转接板与转台内部信号传输线进行电气连接。

5.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，半导体温控片通过夹具引出后与信号检测电...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗锦晖，丁超，王珩，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所，
类型：发明
国别省市：