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一种版图拆分方法及系统、设备和存储介质，版图拆分方法包括：获取待拆分的掩膜版图，包括多个原始图形；基于第一参考图形和第二参考图形，分别沿第一方向和第二方向对原始图形进行预拆分，得到多个预拆分图形，第一参考图形沿第二方向延伸且与原始图形有第一...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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