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一种版图拆分方法及系统、设备和存储介质,版图拆分方法包括:获取待拆分的掩膜版图,包括多个原始图形;沿第一方向对部分的原始图形进行第一预拆分处理、以及沿第二方向对剩余的原始图形进行第二预拆分处理,得到多个预拆分图形,第一方向和第二方向相垂直;...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种版图拆分方法及系统、设备和存储介质,版图拆分方法包括:获取待拆分的掩膜版图,包括多个原始图形;沿第一方向对部分的原始图形进行第一预拆分处理、以及沿第二方向对剩余的原始图形进行第二预拆分处理,得到多个预拆分图形,第一方向和第二方向相垂直;...