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光学装置以及光学检测方法制造方法及图纸
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文档序号:42077515
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本发明提供一种光学装置以及光学检测方法。所述光学装置包括:光学处理模块,以预设角度通过物镜向待处理样品发射处理光,通过所述物镜的处理光用于处理样品,所述光学处理模块的视场的中心位于所述第一测量点与第二测量点之间;处理器,用于根据所述第一相对...
该专利属于深圳镭赫技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳镭赫技术有限公司授权不得商用。
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