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本发明提供一种送液泵，能够考虑溶剂的膨胀、依赖于溶剂的压力的泄漏、依赖于溶剂的流量的泄漏，能够进行流量精度高的送液。本发明的送液泵(1)具备：具备第一柱塞(21)的第一柱塞泵(101)；具备第二柱塞(22)且与第一柱塞泵(101)连接的第二...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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