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三维铁电场效应晶体管随机存取存储器设备和其制造方法技术
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下载三维铁电场效应晶体管随机存取存储器设备和其制造方法的技术资料
文档序号:42076195
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本公开内容提供了一种存储器设备,其包括具有在第一方向上堆叠的功能层级的膜堆叠体。每个功能层级包括第一电介质层和导电层。存储器设备还包括设置在阵列核心区域中的沟道结构,其中,每个沟道结构在第一方向上延伸穿过膜堆叠体。每个沟道结构包括在中心的控...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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