专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
住友化学株式会社
>
聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物制造技术
>技术资料下载
下载聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物的技术资料
文档序号:4207614
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种聚合物,其包含由结构式(I)表示的结构单元以及由结构式(II)表示的结构单元,其中,R1代表氢原子或甲基,X代表直链或支链C1-C6亚烷基、Z代表由结构式(Ia)表示的基团;R2在各种情况下独立地是直链或支链C1-C6烷基,并且m代表0...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。