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本发明提供了一种集成式尾气处理设备，该集成式尾气处理设备中设置有干泵和尾气处理装置，其中，尾气处理装置中设置有水汽分离装置，水汽分离装置中设置有第一分离腔体和第二分离腔体，第一分离腔体中设置有供尾气流通的第一流通通道、第二流通通道、第三流通...
该专利属于上海高笙集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高笙集成电路设备有限公司授权不得商用。

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