下载一种片上手性高分辨红外宽带光电探测器及制备方法的技术资料

文档序号:42071749

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本发明公开了一种片上手性高分辨红外宽带光电探测器及制备方法,底层氧化硅和底硅构成探测器载片基底,底层氧化硅上方设有顶硅;顶层氧化硅设于顶硅上方,在顶层氧化硅中设有具有电极的左右两个穿孔窗口,金手性超表面底部与硅手性超表面顶部接触,氮化硼覆盖...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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