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溅射靶材的表面处理方法技术
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文档序号:4206998
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本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法,包括:提供溅射靶材,所述溅射靶材为铝或铝合金;对所述溅射靶材的表面进行车床加工,并在车屑过程中采用酒精冷却;采用抛光件对车屑后的溅射靶材进行抛光。与现有技术相比,本发明可以及时冷却车床加工过程中产生的热...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。
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