下载具有不同厚度的绝缘层和传导电极的电子器件及形成方法的技术资料

文档序号:4206709

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一种电子器件包括晶体管,其中电子器件可包括具有主表面的半导体层、沟道区、栅电极、源极区、传导电极,以及位于半导体层的主表面和传导电极之间的绝缘层。绝缘层具有第一区和第二区,其中第一区比第二区薄。沟道区、栅电极、源极区或其任意组合离第一区比离...
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